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3D光学轮廓仪 Zeta-20
| 设备名称 | 3D光学轮廓仪 Zeta-20 |
| 型号 | YC-410L |
| 制造商 | 马来西亚KLA-Tencor Corporation |
| 主要功能 | / |
| 设备概要 | 3d光学轮廓仪 3D光学轮廓仪采用白光干涉技术，通过精密的扫描系统和3D建模算法，对被测表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像。系统软件对表面3D图像进行数据处理与分析，获取反映表面质量的2D、3D参数，从而实现表面形貌的3D测量。该仪器在材料学、机械制造等领域中应用广泛，具有高测量精度和重复性。 |
| 技术参数 | 测量范围：0.1 nm 至 200 µm 垂直分辨率：< 0.1 nm 水平分辨率：< 0.1 µm 扫描模式：点扫描、线扫描、面扫描 光源类型：白光LED 最大扫描面积：最大扫描范围可达 100 mm x 100 mm 最大扫描速度：3 µm/s 至 500 µm/s（可调） 显示方式：彩色LCD触摸屏显示，支持实时3D成像 数据接口：USB、Ethernet 软件支持：包括表面分析、形貌重建、粗糙度测量等功能 应用领域：半导体、电子元件、光学器件、材料科学等行业的表面表征与质量控制。 |
| 联系方式 | 李雨江 18838180141 |
| 设备照片 |
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